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Sglux
SG03R20-5_MgF
紫外線寬頻（UVA+UVB+UVC+VUV，波長最高可達120nm）
2.0 mm² 探測器面積
扁平 TO5 密封金屬外殼，1 個隔離引腳和 1 個外殼引腳
在 280nm 波長（峰值響應波長）下，10µW/cm² 的輻照強度會產生約 32nA 的電流。
寬廣的視野
2.0 mm² 探測器面積
扁平 TO5 密封金屬外殼，1 個隔離引腳和 1 個外殼引腳
在 280nm 波長（峰值響應波長）下，10µW/cm² 的輻照強度會產生約 32nA 的電流。
寬廣的視野
光譜響應波段 寬頻 UV + VUV (下探至 120 nm)
感測晶片面積 2.0 mm² (旗艦超大面積)
窗口材質與封裝 MgF2 氟化鎂窗口 / TO5 封裝
⚡ 一分鐘快速了解 SG03R20-5_MgF
SG03R20-5_MgF 是 sglux 專為極限短波 VUV（真空紫外線，下探至 120nm）設計的旗艦光電二極體。元件結合了兩項頂級光學工藝：採用專利「離子注入（Ion Implantation）」技術將 pn 接面極限淺化，並將封裝窗口升級為「MgF2（氟化鎂）晶體」，徹底突破普通藍寶石（約 150nm 截止）或石英玻璃的穿透極限，實現 120nm 至 355nm 的全波段覆蓋。感測面積達 2.0 mm²，在 280nm 峰值下 10 µW/cm² 照射約輸出 32 nA 光電流，是 172nm 準分子（Excimer）固化、185nm 臭氧光化學與同步輻射研究的頂級感測器。
VUV 極短波下探至 120nm MgF2 氟化鎂光學窗口 2.0 mm² 旗艦超大面積 離子注入極淺接面
適合誰使用 SG03R20-5_MgF？
⚡ 172nm 準分子（Excimer）固化與消光系統商 利用 MgF2 窗口極低光吸收率，在工業塗層消光（Matting）與表面改質中實現最高精確度監控
🧪 185nm 臭氧光解與超純水 TOC 降解團隊 需要 2.0 mm² 大受光面捕捉低壓汞燈 185nm 微弱短波射線，提供強勁光電流與高訊噪比
🔬 同步輻射、電漿物理與天體物理實驗室 量測 120nm 至 200nm 極短波長真空紫外輻射，尋求耐高輻射固態探測方案的科研團隊
🏭 半導體光刻與真空紫外設備研發 尋求德國原廠最高等級、具備 PTB 輻射硬度認證之長效耐高能短波轟擊感測核心
產品定義與智慧摘要
SG03R20-5_MgF 為 sglux 推出的極限短波真空紫外（VUV）專用 SiC 光電二極體。其核心突破在於採用光學級 MgF2（氟化鎂）晶體窗口，使有效光譜下探至 120 nm，徹底克服了藍寶石窗口在 150nm 以下吸收率驟增的限制。搭配離子注入極淺 pn 接面與 2.0 mm² 超大感光面積，在 280nm 峰值下 10 µW/cm² 照射約輸出 32 nA 光電流。TO5 氣密金屬封裝與 SiC 材質經德國 PTB 認證具極高抗輻射老化特性，是 172nm 準分子光源與深紫外研究領域的終極選擇。
為什麼選擇 SG03R20-5_MgF？
相較於一般藍寶石窗口型號與標準紫外感測器，SG03R20-5_MgF 具備三大無可取代的優勢：
- 💎 MgF2 氟化鎂窗口（波長下探至 120 nm） 氟化鎂晶體在短波紫外擁有極高穿透率與極佳的深紫外耐受性，能讓 120nm 至 180nm 的高能光子無阻礙射入晶片感應區，打破藍寶石材料的物理極限。
- ⚡ 2.0 mm² 旗艦超大面積（約 32 nA 光電流輸出） 感測面積達 2.0 mm²，在 280nm 峰值下 10 µW/cm² 照射約輸出 32 nA，在微弱光強與高吸收介質環境下維持卓越訊噪比。
- 🛡️ 離子注入極淺接面與 PTB 認證抗老化 透過離子注入技術精確控制空乏區深度，避免高能短波光子在表層損失，SiC 碳化矽晶片天生完全可見光盲且長年承受高能射線照射不劣化。
相關產品與應用推薦
SG03R20-5 (藍寶石窗口版) 若量測光源波長在 170nm 以上（如 185nm 汞燈），選用標準藍寶石窗口版本即可享有優良性價比。
SG03R05-5 (0.5 mm² 中型面積版) 若光源輻照度充沛，可選用晶片面積為 0.5 mm² 的規格以平衡預算。
SG01 系列 (常規 200nm 以上紫外) 若量測目標為 254nm 汞燈或 275nm UVC LED，標準 SG01 系列即可提供最佳匹配。
SG03R20-5_MgF 核心應用領域
SG03R20-5_MgF 結合了 MgF2 氟化鎂窗口與 2.0 mm² 旗艦超大面積，特別適合以下場景：
⚡ 172nm 準分子（Excimer）固化與表面改質 應用於高級消光塗層（Matting）、晶圓清洗與高分子表面極化處理機台，MgF2 窗口確保 172nm 高穿透與低熱衰減。
🧪 185nm 臭氧光化學與超純水 TOC 降解 應用於半導體超純水 TOC 破壞系統與排氣處理設備，利用 2.0 mm² 大晶片精準掌握短波射線劑量。
🔬 同步輻射與深紫外光譜物理研究 在真空腔體中檢測 120nm 至 200nm 極短波紫外光譜，提供極致訊噪比與高線性度。
注意：大氣中的氧氣與水氣對小於 200nm（特別是 120-185nm）的 VUV 射線具有極強的吸收作用。若需進行高精度量測，感測光路務必設置於真空腔體內，或在持續的惰性氣體（如高純氮氣 N2）吹拂下運作。
SG03R20-5_MgF 選型指南
依據您的光源光譜與光學窗口需求，快速確認 SG03R20-5_MgF 是否符合使用情境：
| 您的需求情境 | 建議選擇 | 原因 |
|---|---|---|
| 量測 172nm 準分子光源或低於 160nm 的極短波 VUV | SG03R20-5_MgF | 配備 MgF2 氟化鎂窗口，波長可下探至 120 nm，穿透率遠高於藍寶石窗口 |
| 主要量測 185nm 汞燈，波長不低於 170nm | SG03R20-5 (藍寶石版) | 標準藍寶石窗口版本即可良好穿透 185nm，具備更佳性價比 |
| 量測 VUV 但光強極高（不需要 2.0 mm² 大晶片） | SG03R01-5 或 SG03R05-5 | 提供 0.1 mm² 或 0.5 mm² 感測面積，在高輻照度下不易達到飽和 |
| 常規 UVC 殺菌（254nm 汞燈或 275nm LED） | SG01 系列 C 系列 (如 SG01F-C5) | 標準 SG01 系列在 220nm 以上具備極高性價比與專用濾光配置 |
| 不想自行設計微小電流放大電路 | 改用 UV 整合放大模組 (VOLTCON / TOCON) | 內建轉阻放大電路，直接輸出可用電壓信號 |
不確定該選哪一種規格組合？歡迎將您的光源規格（光源光譜、腔體真空/充氮環境、安裝空間）告訴駿融工程團隊，我們會協助您完成最終選型與樣品測試。
SG03R20-5_MgF 技術規格參數
| 規格項目 | 數值 |
|---|---|
| 產品系列 | SG03 系列（VUV 真空紫外極致增強型） |
| 光譜靈敏度範圍 | 120 至 355 nm (VUV+UVC+UVB+UVA) |
| 特殊應用波長 | 172 nm (準分子 Excimer)、185 nm (Hg 低壓汞燈) |
| 感測晶片面積 | 2.0 mm² (圓形有效感光區) |
| 窗口材料 | MgF2 氟化鎂光學晶體窗口 (Magnesium Fluoride) |
| 封裝形式 | TO5 氣密金屬封裝 |
| 接腳配置 | 1 個隔離引腳，1 個外殼引腳 |
| 峰值響應波長與電流 | 約 280 nm (10 µW/cm² 約產生 32 nA) |
| 晶片製程技術 | SiC 碳化矽離子注入技術 (Ion Implantation) |
| 最高工作溫度 | 高達 170°C |
| 認證與晶片特性 | PTB 認證極高抗輻射老化能力 / 天然可見光盲 |
關於 SG03R20-5_MgF 的常見技術問題
SG03R20-5_MgF 光電二極體的完整技術規格為何？
SG03R20-5_MgF 是專為極短波 VUV（真空紫外線，下探至 120nm）與寬頻 UV 量測設計的旗艦級 SiC 光電二極體。採用先進離子注入工藝製造 pn 接面，感測晶片面積達 2.0 mm²，採用 TO5 氣密金屬封裝並配備 MgF2（氟化鎂）光學晶體窗口。峰值響應波長約 280 nm，光譜響應範圍涵蓋 120 至 355 nm，在 10 µW/cm² 照射下輸出約 32 nA 光電流。
型號中的「MgF」代表什麼？與一般藍寶石窗口有何不同？
「MgF」代表採用了光學級氟化鎂（Magnesium Fluoride, MgF2）晶體窗口。標準藍寶石窗口在波長小於約 150 nm 時穿透率會驟降；而 MgF2 晶體在真空紫外波段具有極低的吸收率，使感測器光譜下限能夠達到 120 nm，非常適合 172 nm 準分子燈及更短波長的極致量測。
如何向駿融企業申請 SG03R20-5_MgF 樣品或報價？
若需要規格確認、量測需求評估或樣品測試，歡迎透過聯繫按鈕與駿融技術團隊聯絡。
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