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光譜響應波段 寬頻 UV + VUV (< 200 nm)
感測晶片面積 1.0 mm² (離子注入 SiC)
窗口材質與封裝 藍寶石玻璃 / TO5 氣密封裝
⚡ 一分鐘快速了解 SG03R10-5
SG03R10-5 是 sglux 專為波長小於 200nm 的 VUV（真空紫外線）與寬頻紫外量測所推出的高靈敏度大面積 SiC 光電二極體。不同於傳統氣相磊晶（VPE）的 SG01 系列，SG03 系列採用專利「離子注入（Ion Implantation）」製程，將空乏區推向極淺表面，打破了傳統 SiC 晶片在 200nm 以下靈敏度大幅衰減的物理限制。感測晶片面積達 1.0 mm²，能輸出極其充沛的光電流訊號，搭配耐高能輻射的藍寶石窗口與 TO5 金屬氣密封裝。非常適合 185nm 臭氧分解/水處理 TOC 監控，以及 172nm 準分子（Excimer）UV 固化與材料改質製程。
VUV 真空紫外增強 離子注入製程 1.0 mm² 大晶片面積 TO5 工業級封裝
適合誰使用 SG03R10-5？
🧪 185nm 臭氧除味與 TOC 降解系統商 需要以 1.0 mm² 大受光面捕捉低壓汞燈 185nm 產生臭氧、油煙降解或超純水 TOC 降解過程的工程人員
⚡ 172nm 準分子（Excimer）固化設備研發商 應用於精密塗層消光（Matting）、表面改質與半導體 UV 固化機台中的真空紫外監控
🔬 微弱光強 VUV 光學檢測與分析團隊 需要 1.0 mm² 感測面積提供超高訊噪比與充沛光電流，免除極限電子放大的檢測系統
🏭 工業級高能量射線探測採購 尋求德國原廠最高等級、能長效承受短波高能紫外光子轟擊而不老化的感測器
產品定義與智慧摘要
SG03R10-5 為 sglux 專為波長小於 200 nm 的 VUV（真空紫外線）與寬頻 UV 量測所開發的高感度 SiC 光電二極體。採用創新的離子注入工藝，將 pn 接面位置極度接近晶片表層，使短波長光子在被表層過度吸收前即可在空乏區激發光電流。晶片有效感測面積達 1.0 mm²，配置藍寶石玻璃窗口與工業級 TO5 氣密金屬封裝。能有效偵測低壓汞燈 185 nm 射線與 172 nm 準分子光源，兼具穩固的工業封裝結構與強勁的光電流訊號輸出。
為什麼選擇 SG03R10-5？
相較於傳統紫外感測元件，SG03R10-5 在真空紫外波段與靈敏度上具備三大優勢：
- 🔬 先進離子注入製程（強化 <200nm VUV 響應） 透過離子注入將 pn 接面空乏區推向極淺表面，打破了傳統 SiC 晶片在 200nm 以下靈敏度大幅衰減的限制，完美涵蓋 185nm 與 172nm 光源。
- ⚡ 1.0 mm² 大晶片面積帶來充沛訊號 提供比 0.1 mm² 或 0.5 mm² 更強大的光電流輸出，在微弱 VUV 照射下依然能提供清晰訊號與超高訊噪比。
- 💎 高穿透藍寶石玻璃窗口與 PTB 認證抗老化 標配耐受度極高的藍寶石窗口與 SiC 晶片，長期承受高能短波光子直接照射不老化、不劣化，具備永久校準精確度。
相關產品與應用推薦
SG03R05-5 (0.5 mm² 中型面積版) 若光強適中，希望兼顧靈敏度與性價比，可選用 0.5 mm² 的 SG03R05-5。
SG03R20-5 (2.0 mm² 旗艦大面積版) 若量測之 VUV 光源極端微弱，可選用感測面積達 2.0 mm² 的大晶片規格。
SG01 系列 (常規 200nm 以上紫外) 若光源僅為 254nm 汞燈或 275nm LED，選用標準 SG01 系列即可享有最佳性價比。
SG03R10-5 核心應用領域
SG03R10-5 結合了離子注入 VUV 增強技術與 1.0 mm² 大感測面積，特別適合以下場景：
🧪 185nm 臭氧分解與超純水 TOC 監控 應用於半導體超純水系統與工業油煙處理，在工業級反應器中精確量測低壓汞燈 185nm 輻射強度。
⚡ 172nm 準分子（Excimer）工業固化與消光 在高級塗層消光（Matting）、表面改質與 UV 固化機台中，即時監控 172nm 準分子燈管的輸出劑量與衰減。
🔬 短波紫外光譜儀與氣相分析儀 應用於需要高穩定度與高信噪比的分析儀器中，具備 1.0 mm² 充沛受光面，在微弱光強下維持優異讀數。
注意：由於空氣中的氧氣會強烈吸收 200nm 以下的 VUV 光線（並轉化為臭氧），若量測光路距離較長，建議在氮氣吹拂（N2 Purge）或真空環境下操作以獲得真實讀數。
SG03R10-5 選型指南
依據您的光源光譜與靈敏度需求，快速確認 SG03R10-5 是否符合使用情境：
| 您的需求情境 | 建議選擇 | 原因 |
|---|---|---|
| 量測 185nm 汞燈或 172nm 準分子光源，需 1.0 mm² 大感測面積 | SG03R10-5 | 離子注入工藝確保 <200nm 靈敏度，1.0 mm² 大晶片面積提供超高訊噪比光電流 |
| 光強適中，希望兼顧成本（0.5 mm² 或 0.1 mm²） | SG03R05-5 或 SG03R01-5 | 中小型感測面積版本，在性能與成本間取得絕佳平衡 |
| 需要量測 VUV 但光強極端微弱 | SG03R20-5 (2.0 mm²) | 提供高達 2.0 mm² 的有效感測區，輸出數十倍的信號電流 |
| 常規 UVC 殺菌（254nm 汞燈或 275nm LED） | SG01 系列 C 系列 (如 SG01L-C5) | 標準 SG01 系列在 220nm 以上具備極高性價比與專用濾光配置 |
| 不想自行設計微小電流放大電路 | 改用 UV 整合放大模組 (VOLTCON / TOCON) | 內建轉阻放大電路，直接輸出可用電壓信號 |
不確定該選哪一種規格組合？歡迎將您的光源規格（汞燈波長、準分子燈型號、安裝環境）告訴駿融工程團隊，我們會協助您完成最終選型與樣品測試。
SG03R10-5 技術規格參數
| 規格項目 | 數值 |
|---|---|
| 產品系列 | SG03 系列（VUV 真空紫外增強型） |
| 光譜靈敏度範圍 | 120 至 355 nm (VUV+UVC+UVB+UVA) |
| 特殊應用波長 | 185 nm (Hg 低壓汞燈)、172 nm (準分子 Excimer) |
| 感測晶片面積 | 1.0 mm² (圓形有效感光區) |
| 窗口材料 | 藍寶石玻璃窗口 (Sapphire glass) |
| 封裝形式 | TO5 氣密金屬封裝 |
| 接腳配置 | 1 個隔離引腳，1 個外殼引腳 |
| 峰值響應波長 | 約 280 nm |
| 晶片製程技術 | SiC 碳化矽離子注入技術 (Ion Implantation) |
| 最高工作溫度 | 高達 170°C |
| 認證與晶片特性 | PTB 認證極高抗輻射老化能力 / 天然可見光盲 |
關於 SG03R10-5 的常見技術問題
SG03R10-5 光電二極體的完整技術規格為何？
SG03R10-5 是專為 VUV（真空紫外線，<200nm）與寬頻 UV 量測設計的 SiC 光電二極體。採用先進離子注入工藝製造 pn 接面，感測晶片面積為 1.0 mm²，採用 TO5 藍寶石玻璃窗口氣密金屬封裝（具 1 個隔離引腳與 1 個外殼引腳）。峰值響應波長約 280 nm，光譜響應範圍涵蓋 120 至 355 nm，特別強化對 185nm 及 172nm 的探測靈敏度。
sglux 的 SG03 系列與標準 SG01 系列有什麼本質區別？
核心差異在於 pn 接面的製造工藝。標準 SG01 系列採用氣相磊晶（VPE）技術；而 SG03 系列採用離子注入（Ion Implantation）製程。離子注入技術使空乏區位置極其接近晶片表面，從而大幅減低短波長光子在進入感應區前的表層吸收，讓晶片具備低於 200nm（包括 185nm 汞燈射線與 172nm 準分子光）的優異光譜響應。
如何向駿融企業申請 SG03R10-5 樣品或報價？
若需要規格確認、量測需求評估或樣品測試，歡迎透過聯繫按鈕與駿融技術團隊聯絡。
駿融企業為紫外線感測元件之專業代理商，擁有超過 40 年專業服務經驗，提供產品選型、大批發量詢價與工程樣品測試。
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