依據歐盟施行的個人資料保護法，我們致力於保護您的個人資料並提供您對個人資料的掌握。
按一下「全部接受」，代表您允許我們置放 Cookie 來提升您在本網站上的使用體驗、協助我們分析網站效能和使用狀況，以及讓我們投放相關聯的行銷內容。您可以在下方管理 Cookie 設定。 按一下「確認」即代表您同意採用目前的設定。
光譜響應波段 寬頻 UV + VUV (< 200 nm)
感測晶片面積 2.0 mm² (旗艦超大面積)
窗口材質與封裝 藍寶石玻璃 / TO5 氣密封裝
⚡ 一分鐘快速了解 SG03R20-5
SG03R20-5 是 sglux 旗下感測面積最大、靈敏度最高的旗艦級 VUV（真空紫外線）與寬頻紫外 SiC 光電二極體。不同於傳統氣相磊晶（VPE）的 SG01 系列，SG03 系列採用專利「離子注入（Ion Implantation）」技術，將空乏區推向極淺表面，打破了傳統 SiC 晶片在 200nm 以下靈敏度大幅衰減的物理限制。感測晶片面積達 2.0 mm²，能在 TO5 氣密金屬外殼內收集最大量的微弱光子信號，並配備耐高能短波光子的藍寶石玻璃窗口。非常適合 185nm 臭氧分解/水處理 TOC 監控，以及 172nm 準分子（Excimer）UV 固化與材料改質製程。
VUV 真空紫外增強 離子注入製程 2.0 mm² 旗艦超大面積 藍寶石玻璃窗口
適合誰使用 SG03R20-5？
🧪 微弱 185nm 臭氧分解與 TOC 降解研發團隊 需要以 2.0 mm² 最大受光面捕捉低壓汞燈 185nm 產生臭氧、油煙降解或超純水 TOC 降解過程中的微弱輻照
⚡ 172nm 準分子（Excimer）低照度固化設備商 應用於精密塗層消光（Matting）、表面改質與半導體 UV 固化機台中的低照度真空紫外監控
🔬 極微弱 VUV 光譜分析與科研實驗室 需要 2.0 mm² 感測面積提供超高訊噪比與充沛光電流，免除極限電子放大的科研儀器
🏭 工業級高能量射線探測採購 尋求德國原廠最高等級、能長效承受短波高能紫外光子轟擊而不老化的頂級感測器
產品定義與智慧摘要
SG03R20-5 為 sglux 專為微弱波長小於 200 nm 的 VUV（真空紫外線）與寬頻 UV 量測所開發的旗艦級 SiC 光電二極體。採用創新的離子注入工藝，將 pn 接面位置極度接近晶片表層，使短波長光子在被表層過度吸收前即可在空乏區激發光電流。晶片有效感測面積達 2.0 mm²（為 SG03 系列最大感測面積），配置藍寶石玻璃窗口與工業級 TO5 氣密金屬封裝。能有效偵測微弱低壓汞燈 185 nm 射線與 172 nm 準分子光源，兼具穩固的工業封裝結構與最頂級的光電流訊號輸出。
為什麼選擇 SG03R20-5？
相較於傳統紫外感測元件與同系列小晶片型號，SG03R20-5 具備三大核心優勢：
- 🔬 先進離子注入製程（強化 <200nm VUV 響應） 透過離子注入將 pn 接面空乏區推向極淺表面，打破了傳統 SiC 晶片在 200nm 以下靈敏度大幅衰減的限制，完美涵蓋 185nm 與 172nm 光源。
- ⚡ 2.0 mm² 旗艦超大面積帶來極致訊噪比 擁有 SG03 系列中最大的晶片感光面積，能採集最多微弱 VUV 光子，輸出強大光電流，大幅減輕後端放大電路的增益壓力。
- 💎 高穿透藍寶石玻璃窗口與 PTB 認證抗老化 標配耐受度極高的藍寶石窗口與 SiC 晶片，長期承受高能短波光子直接照射不老化、不劣化，具備永久校準精確度。
相關產品與應用推薦
SG03R10-5 (1.0 mm² 大面積版) 若光強適中，希望兼顧靈敏度與性價比，可選用 1.0 mm² 的 SG03R10-5。
SG03R05-5 (0.5 mm² 中型面積版) 適合常規光強的 185nm / 172nm 監測，性價比極高。
SG01 系列 (常規 200nm 以上紫外) 若光源僅為 254nm 汞燈或 275nm LED，選用標準 SG01 系列即可享有最佳性價比。
SG03R20-5 核心應用領域
SG03R20-5 結合了離子注入 VUV 增強技術與 2.0 mm² 旗艦超大感測面積，特別適合以下場景：
🧪 微弱 185nm 臭氧分解與超純水 TOC 監控 應用於半導體超純水系統與工業油煙處理，在水體吸收嚴重或遠距探測時精確量測低壓汞燈 185nm 輻射強度。
⚡ 172nm 準分子（Excimer）低照度工業固化與消光 在高級塗層消光（Matting）、表面改質與 UV 固化機台中，即時監控 172nm 準分子燈管的微弱輸出劑量與衰減。
🔬 極微弱短波紫外光譜儀與科研分析儀 應用於需要高穩定度與高信噪比的分析儀器中，具備 2.0 mm² 超大受光面，在微弱光強下維持極佳讀數。
注意：由於空氣中的氧氣會強烈吸收 200nm 以下的 VUV 光線（並轉化為臭氧），若量測光路距離較長，建議在氮氣吹拂（N2 Purge）或真空環境下操作以獲得真實讀數。
SG03R20-5 選型指南
依據您的光源光譜與靈敏度需求，快速確認 SG03R20-5 是否符合使用情境：
| 您的需求情境 | 建議選擇 | 原因 |
|---|---|---|
| 量測 185nm 汞燈或 172nm 準分子光源，需 2.0 mm² 最大感測面積 | SG03R20-5 | 離子注入工藝確保 <200nm 靈敏度，2.0 mm² 旗艦超大面積提供最高訊噪比光電流 |
| 光強適中，希望兼顧成本（1.0 mm² 或 0.5 mm²） | SG03R10-5 或 SG03R05-5 | 中大型感測面積版本，在性能與成本間取得絕佳平衡 |
| 高光強直射監測（不需要大晶片面積） | SG03R01-5 (0.1 mm²) | 0.1 mm² 微型晶片面積，在高輻照度下不易飽和 |
| 常規 UVC 殺菌（254nm 汞燈或 275nm LED） | SG01 系列 C 系列 (如 SG01F-C5) | 標準 SG01 系列在 220nm 以上具備極高性價比與專用濾光配置 |
| 不想自行設計微小電流放大電路 | 改用 UV 整合放大模組 (VOLTCON / TOCON) | 內建轉阻放大電路，直接輸出可用電壓信號 |
不確定該選哪一種規格組合？歡迎將您的光源規格（汞燈波長、準分子燈型號、安裝環境）告訴駿融工程團隊，我們會協助您完成最終選型與樣品測試。
SG03R20-5 技術規格參數
| 規格項目 | 數值 |
|---|---|
| 產品系列 | SG03 系列（VUV 真空紫外增強型） |
| 光譜靈敏度範圍 | 120 至 355 nm (VUV+UVC+UVB+UVA) |
| 特殊應用波長 | 185 nm (Hg 低壓汞燈)、172 nm (準分子 Excimer) |
| 感測晶片面積 | 2.0 mm² (旗艦超大圓形有效感光區) |
| 窗口材料 | 藍寶石玻璃窗口 (Sapphire glass) |
| 封裝形式 | TO5 氣密金屬封裝 |
| 接腳配置 | 1 個隔離引腳，1 個外殼引腳 |
| 峰值響應波長 | 約 280 nm |
| 晶片製程技術 | SiC 碳化矽離子注入技術 (Ion Implantation) |
| 最高工作溫度 | 高達 170°C |
| 認證與晶片特性 | PTB 認證極高抗輻射老化能力 / 天然可見光盲 |
關於 SG03R20-5 的常見技術問題
SG03R20-5 光電二極體的完整技術規格為何？
SG03R20-5 是專為 VUV（真空紫外線，<200nm）與寬頻 UV 量測設計的旗艦級 SiC 光電二極體。採用先進離子注入工藝製造 pn 接面，感測晶片面積達 2.0 mm²，採用 TO5 藍寶石玻璃窗口氣密金屬封裝（具 1 個隔離引腳與 1 個外殼引腳）。峰值響應波長約 280 nm，光譜響應範圍涵蓋 120 至 355 nm，特別強化對 185nm 及 172nm 的探測靈敏度。
sglux 的 SG03 系列與標準 SG01 系列有什麼本質區別？
核心差異在於 pn 接面的製造工藝。標準 SG01 系列採用氣相磊晶（VPE）技術；而 SG03 系列採用離子注入（Ion Implantation）製程。離子注入技術使空乏區位置極其接近晶片表面，從而大幅減低短波長光子在進入感應區前的表層吸收，讓晶片具備低於 200nm（包括 185nm 汞燈射線與 172nm 準分子光）的優異光譜響應。
如何向駿融企業申請 SG03R20-5 樣品或報價？
若需要規格確認、量測需求評估或樣品測試，歡迎透過聯繫按鈕與駿融技術團隊聯絡。
駿融企業為紫外線感測元件之專業代理商，擁有超過 40 年專業服務經驗，提供產品選型、大批發量詢價與工程樣品測試。
✉️ 聯繫我們